분자빔 에피택시(MBE)는 결정 기판에 고품질의 결정 박막을 성장시키는 새로운 기술입니다. 초고진공 조건에서 필요한 모든 부품을 가열난로에 장착하고 증기를 발생시키며, 원자빔 또는 분자빔을 시준한 후 형성된 구멍을 통해 단결정 기판의 적절한 온도에 직접 주입하고, 분자빔을 제어하여 증기를 생성합니다. 동시에 기판을 스캐닝하면 결정 정렬 층의 분자 또는 원자가 기판 "성장"에 박막을 형성할 수 있습니다.

MBE 장비의 정상적인 작동을 위해서는 고순도, 저압, 초청정 액체질소가 장비의 냉각실까지 지속적이고 안정적으로 이송되어야 합니다. 일반적으로 액체질소를 공급하는 탱크의 출력압력은 0.3MPa~0.8MPa 사이입니다. -196℃의 액체질소는 파이프라인 이송 중에 쉽게 기화되어 질소로 변합니다. 약 1:700의 기액 비율을 갖는 액체 질소가 파이프라인에서 가스화되면 많은 양의 액체 질소 흐름 공간을 차지하고 액체 질소 파이프라인 끝의 정상적인 흐름이 감소합니다. 또한, 액체질소 저장탱크에는 아직 청소되지 않은 이물질이 있을 가능성이 높습니다. 액체질소 파이프라인에 습한 공기가 존재하면 얼음 슬래그가 생성될 수도 있습니다. 이러한 불순물이 장비 내부로 배출되면 장비에 예상치 못한 손상을 초래할 수 있습니다.

따라서 실외 저장 탱크의 액체 질소는 먼지가 없는 작업장의 MBE 장비로 고효율, 안정성 및 청결도로 운송되며, 저압, 질소 없음, 불순물 없음, 24시간 중단 없는 운송 제어 시스템은 다음과 같습니다. 자격을 갖춘 제품.