기술
분자빔 에피택시(MBE)는 결정 기판 위에 고품질 결정 박막을 성장시키는 새로운 기술입니다. 초고진공 조건에서, 필요한 모든 구성 요소가 장착된 가열로를 통해 증기를 발생시키고, 집속된 원자 또는 분자 빔을 형성된 구멍을 통해 적절한 온도의 단결정 기판에 직접 주입합니다. 동시에 분자 빔이 기판을 스캔하도록 제어함으로써, 결정 내 분자 또는 원자들이 정렬된 층을 이루어 기판 위에 박막을 형성하도록 "성장"시킬 수 있습니다.
MBE 장비의 정상 작동을 위해서는 고순도, 저압, 초청정 액체 질소가 장비의 냉각실로 지속적이고 안정적으로 이송되어야 합니다. 일반적으로 액체 질소 공급 탱크의 출력 압력은 0.3MPa에서 0.8MPa 사이입니다. -196℃의 액체 질소는 파이프라인 이송 중 쉽게 기화됩니다. 기체-액체 비율이 약 1:700인 액체 질소가 파이프라인에서 기화되면, 액체 질소의 유동 공간을 많이 차지하여 파이프라인 끝단의 정상 유량을 감소시킵니다. 또한, 액체 질소 저장 탱크에는 세척되지 않은 이물질이 존재할 가능성이 높습니다. 액체 질소 파이프라인에 습기가 있는 경우, 얼음 슬래그가 생성될 수도 있습니다. 이러한 불순물이 장비로 유입되면 장비에 예측할 수 없는 손상을 초래할 수 있습니다.
따라서 실외 저장 탱크에 저장된 액체 질소는 고효율, 안정적이고 깨끗한 상태로 저압, 무질소, 무불순물 상태로 24시간 중단 없이 먼지 없는 작업장의 MBE 장비로 이송되며, 이러한 이송 제어 시스템은 품질 기준을 충족하는 제품입니다.
MBE 장비 매칭
HL 극저온 장비(HL CRYO)는 2005년부터 이 시스템을 최적화 및 개선해 왔으며, 국제적인 MBE 장비 제조업체들과 협력해 왔습니다. DCA, REBER를 비롯한 여러 MBE 장비 제조업체들이 당사와 협력 관계를 유지하고 있으며, 다수의 프로젝트에서 협력해 왔습니다.
Riber SA는 화합물 반도체 연구 및 산업 응용 분야를 위한 분자빔 에피택시(MBE) 제품 및 관련 서비스를 제공하는 세계적인 선도 기업입니다. Riber MBE 장비는 매우 정밀한 제어를 통해 기판 위에 매우 얇은 막을 증착할 수 있습니다. HL Cryogenic Equipment(HL CRYO)의 진공 설비는 Riber SA의 장비로 구성되어 있으며, 가장 큰 장비는 Riber 6000이고 가장 작은 장비는 Compact 21입니다. 이 장비들은 양호한 상태를 유지하고 있으며 고객들로부터 높은 평가를 받고 있습니다.
DCA는 세계 최고의 산화물 MBE(분자빔 에피택시) 기업입니다. 1993년부터 산화 기술, 산화 방지 기판 가열 방식, 산화 방지제 공급원 등을 체계적으로 개발해 왔으며, 이러한 노력 덕분에 많은 유수 연구소에서 DCA의 산화물 기술을 선택하고 있습니다. DCA의 복합 반도체 MBE 시스템은 전 세계적으로 다양한 프로젝트에 활용되고 있습니다. HL Cryogenic Equipment(HL CRYO)의 VJ 액체 질소 순환 시스템과 DCA의 P600, R450, SGC800 등 다양한 모델의 MBE 장비는 수많은 프로젝트에서 풍부한 경험을 바탕으로 완벽한 호환성을 자랑합니다.
성능표
| 중국과학원 상하이기술물리연구소 |
| 중국전자기술공사 제11연구소 |
| 중국과학원 반도체연구소 |
| 화웨이 |
| 알리바바 다모 아카데미 |
| 파워텍 테크놀로지 주식회사 |
| 델타 일렉트로닉스 주식회사 |
| 쑤저우 에버브라이트 포토닉스 |
게시 시간: 2021년 5월 26일
