뉴스 - 지난 몇 년 동안 완료된 칩 MBE 프로젝트

기술

분자 빔 에피택시(MBE)는 결정 기판 위에 고품질의 결정 박막을 성장시키는 새로운 기술입니다. 초고진공 조건에서, 필요한 모든 부품을 갖춘 가열로를 사용하여 증기를 발생시키고, 원자 또는 분자 빔을 평행하게 정렬한 후 형성된 구멍을 통해 단결정 기판에 적절한 온도로 직접 분사합니다. 또한, 기판에 주사하는 분자 빔을 제어하여 결정 정렬층 내의 분자 또는 원자를 성장시켜 기판 위에 박막을 형성합니다.

MBE 장비의 정상 작동을 위해서는 고순도, 저압, 초청정 액체 질소가 장비의 냉각실로 지속적이고 안정적으로 이송되어야 합니다. 일반적으로 액체 질소를 공급하는 탱크의 출력 압력은 0.3MPa에서 0.8MPa 사이입니다. -196℃의 액체 질소는 파이프라인 운송 중 질소로 쉽게 기화됩니다. 기액비가 약 1:700인 액체 질소가 파이프라인에서 기화되면 많은 양의 액체 질소 유동 공간을 차지하고 액체 질소 파이프라인 끝단의 정상 유량을 감소시킵니다. 또한, 액체 질소 저장 탱크에는 세척되지 않은 이물질이 있을 가능성이 높습니다. 액체 질소 파이프라인에 습한 공기가 존재하면 얼음 슬래그가 생성됩니다. 이러한 불순물이 장비로 배출되면 장비에 예기치 않은 손상을 초래할 수 있습니다.

따라서 옥외 저장 탱크 내의 액체질소는 먼지가 없는 작업장에서 높은 효율, 안정성, 청결을 유지하며 저압, 질소 및 불순물이 없고 24시간 중단 없이 MBE 장비로 수송되는데, 이러한 수송 제어 시스템은 합격 제품입니다.

MBE 장비 매칭

HL Cryogenic Equipment(HL CRYO)는 2005년부터 이 시스템을 최적화 및 개선하고 국제 MBE 장비 제조업체와 협력해 왔습니다. DCA, REBER를 포함한 MBE 장비 제조업체는 당사와 협력 관계를 맺고 있으며, DCA와 REBER를 포함한 MBE 장비 제조업체는 수많은 프로젝트에서 협력해 왔습니다.

Riber SA는 화합물 반도체 연구 및 산업 응용 분야를 위한 분자선 에피택시(MBE) 제품 및 관련 서비스를 제공하는 세계적인 선도 기업입니다. Riber MBE 장치는 매우 높은 제어력으로 기판에 매우 얇은 재료층을 증착할 수 있습니다. HL Cryogenic Equipment(HL CRYO)의 진공 장비에는 Riber SA가 장착되어 있습니다. 가장 큰 장비는 Riber 6000이고 가장 작은 장비는 Compact 21입니다. 상태는 양호하며 고객들로부터 인정받고 있습니다.

DCA는 세계 최고의 산화물 MBE(산화막 산화방지제)입니다. 1993년부터 산화 기술, 산화방지제 기질 가열, 산화방지제 공급원에 대한 체계적인 개발이 진행되어 왔습니다. 이러한 이유로 많은 선도적인 연구실에서 DCA 산화물 기술을 선택했습니다. 복합 반도체 MBE 시스템은 전 세계적으로 사용되고 있습니다. HL 극저온 장비(HL CRYO)의 VJ 액체질소 순환 시스템과 DCA의 여러 모델에 적용된 MBE 장비는 P600, R450, SGC800 모델 등 다양한 프로젝트에서 동일한 경험을 보유하고 있습니다.