반도체 및 칩 케이스 및 솔루션

/반도체 및 칩 사례-해결/
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액체 질소 냉각 시스템은 과정을 포함하여 반도체 및 칩 산업에서 널리 사용됩니다.

  • 분자 빔 에피 택시 (MBE)의 기술
  • COB 패키지 후 칩 테스트

관련 제품

분자 빔 에피 택시

분자 빔 에피 택시 (MBE)의 기술은 1950 년대에 진공 증발 기술을 사용하여 반도체 박막 재료를 준비하기 위해 개발되었습니다. 매우 높은 진공 기술의 발전으로 기술 적용은 반도체 과학 분야로 확장되었습니다.

HL은 MBE 액체 질소 냉각 시스템, MBE 기술을위한 특수한 MBE 액체 질소 쿠링 시스템을 성공적으로 개발하기위한 MBE 액체 질소 냉각 시스템의 수요와 많은 기업, 대학 및 연구 기관에서 사용 된 진공 절연 배관 시스템 세트를 성공적으로 개발했습니다. .

반도체 및 칩 산업의 일반적인 문제는 다음과 같습니다.

  • 액체 질소의 터미널 (MBE) 장비에 대한 압력. 손상된 터미널 (MBE) 장비의 압력 과부하 방지.
  • 다중 극저온 액체 흡입구 및 출구 제어
  • 액체 질소의 온도는 말기 장비로 내린다
  • 합리적인 양의 극저온 가스 배출
  • (자동) 메인 및 지선의 전환
  • VIP의 압력 조정 (감소) 및 안정성
  • 탱크에서 가능한 불순물과 얼음 잔류 물을 청소
  • 터미널 액체 장비의 충전 시간
  • 파이프 라인 프리 쿨링
  • VIP 시스템의 액체 저항
  • 시스템의 불연속 서비스 중 액체 질소의 손실 제어

HL의 진공 절연 파이프 (VIP)는 표준으로 ASME B31.3 압력 배관 코드에 제작되었습니다. 엔지니어링 경험 및 품질 관리 능력 고객 플랜트의 효율성과 비용 효율성을 보장합니다.

솔루션

HL 냉동 장비는 고객에게 반도체 및 칩 산업의 요구 사항과 조건을 충족시키기 위해 진공 절연 배관 시스템을 고객에게 제공합니다.

1. 품질 관리 시스템 : ASME B31.3 압력 배관 코드.

2. 다중 극저온 액체 입구 및 자동 제어 기능을 갖는 배출구가있는 특수 상 분리기는 가스 방출, 재활용 액체 질소 및 액체 질소 온도의 요구 사항을 충족합니다.

3. 부적절하고시기 적절한 배기 설계를 통해 터미널 장비는 항상 설계된 압력 값 내에서 작동하도록합니다.

4. 가스-액체 장벽은 VI 파이프 라인 끝의 수직 VI 파이프에 배치됩니다. 가스 액체 장벽은 가스 씰 원리를 사용하여 VI 파이프 라인의 끝에서 VI 배관으로 열을 차단하고 시스템의 불연속적이고 간헐적 인 서비스 중에 액체 질소의 손실을 효과적으로 줄입니다.

5. 진공 절연 밸브 (VIV) 시리즈에 의해 제어되는 VI 배관 : 진공 절연 (공압) 셧다운 밸브, 진공 절연 체크 밸브, 진공 절연 밸브 등을 포함하여 다양한 유형의 VIV를 결합하여 VIP를 결합하여 VIP를 조합 할 수 있습니다. 필수의. VIV는 현장 절연 처리없이 제조업체의 VIP 조립식과 통합됩니다. VIV의 씰 단위는 쉽게 교체 할 수 있습니다. (HL은 고객이 지정한 극저온 밸브 브랜드를 수용 한 다음 HL에 의해 진공 절연 밸브를 만듭니다. 일부 브랜드와 밸브 모델은 진공 절연 밸브로 만들 수 없을 수 있습니다.)

6. 내부 튜브 표면 청결에 대한 추가 요구 사항이있는 경우. 고객은 스테인리스 스틸 유출을 더욱 줄이기 위해 VIP 내부 파이프로 BA 또는 EP 스테인레스 스틸 파이프를 선택하는 것이 좋습니다.

7. 바카 쿠움 절연 필터 : 탱크에서 가능한 불순물과 얼음 잔류 물을 청소하십시오.

8. 극저온 액체가 VI 배관 및 터미널 장비에 직접 들어가는 후 얼음 슬래그를 피하기 위해 며칠 이상 셧다운 또는 유지 보수가 발생하면 VI 배관 및 터미널 장비를 선포해야합니다. 프리 쿨링 기능은 설계에서 고려해야합니다. 터미널 장비 및 밸브와 같은 VI 배관지지 장비를 더 잘 보호합니다.

9. 동적 및 정적 진공 절연 (유연한) 배관 시스템에 대한 수트.

10. Dynamic 진공 절연 (Flexible) 배관 시스템 : VI 유연성 호스 및/또는 VI 파이프, 점퍼 호스, 진공 절연 밸브 시스템, 위상 분리기 및 동적 진공 펌프 시스템 (진공 펌프, 솔레노이드 밸브 및 진공 면제 등으로 구성됩니다. ). 단일 VI Flexible Hose의 길이는 사용자의 요구 사항에 따라 사용자 정의 할 수 있습니다.

11. 다양한 연결 유형 : 진공 총검 연결 (VBC) 유형 및 용접 연결을 선택할 수 있습니다. VBC 유형은 현장 절연 처리가 필요하지 않습니다.


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