반도체 제조 과정에서는 온도, 압력, 순도의 아주 작은 변화조차도 수율에 영향을 미칠 수 있습니다. HL Cryogenics는 모든 극저온 이송 시스템을 설계할 때 일관된 열 성능과 완벽한 청정도를 보장하도록 합니다. 이는 에칭, 리소그래피, 웨이퍼 냉각 시스템과 같은 핵심 장비에 특히 중요합니다.
동아시아의 반도체 공장에는 일반 산업용 가스와는 다른 특별한 것이 필요합니다.
진동과 압력 변화가 매우 적음
오염 위험 없음
24시간 내내, 일주일 내내 끊임없이 작동합니다.
이로 인해 시스템 설계는 대부분의 LNG 인프라 또는 대규모 산업용 가스 플랜트보다 훨씬 더 엄격해집니다.
일반적인 시스템은 다음과 같이 구성됩니다.
- 미니 탱크또는 대용량 저장 장치를 극저온 냉매 공급원으로 사용
- 주요 유통 경로는 다음과 같습니다.진공 절연 파이프
- 유연한 연결을 사용진공 절연 유연 호스
- 제어 구성 요소(예: ...)진공 절연 밸브
- 단계 관리(Phase management)를 통해진공 절연 상 분리기
각 구성 요소는 안정적인 작동을 보장하기 위해 완벽하게 통합된 시스템의 일부로 설계되어야 합니다.
목차
1. 공학 원리: 열 손실 감소
2. 진공 안정성 및 장기 성능
3. 압력 설계 및 유동 안정성
4. 국제 표준 준수
●공학 원리: 열 손실 감소
액체 질소 시스템의 주요 목표는 열이 내부로 유입되는 것을 막는 것입니다. 열은 다음을 통해 전달됩니다.
파이프 지지대 및 재료를 통한 전도
내관과 외관 벽 사이의 복사열
진공 공간에 남아 있는 기체 대류
우리의진공 절연 파이프HL Cryogenics의 시스템은 매우 높은 진공 수준(10⁻⁴~10⁻⁶ mbar)을 생성하도록 설계되어 열 전달 방식을 크게 늦춥니다.
최종 결과는 다음과 같습니다.
증발률 감소
안정적인 압력 수준
시스템 전체의 효율성 향상
진공 절연 밸브
그만큼진공 절연 밸브다음 사항을 보장합니다:
제어 지점으로 전달되는 열이 거의 없습니다.
극저온 환경에서도 안정적인 분리 가능
유지 보수가 적으면서 수명이 깁니다.
이러한 밸브는 작동 및 유지 보수 주기 동안 시스템을 양호한 상태로 유지하는 데 필수적입니다.
●진공 안정성 및 장기 성능
우리의 조합을 통해동적 진공 펌프 시스템, 진공 절연 밸브, 그리고상 분리기저희는 액체 헬륨을 효율적으로 이송하고 비용을 절감할 수 있는 시스템을 제공합니다.미니 탱크s와유연 호스모바일 작업과 고정 작업 모두 정확하게 처리해 드리겠습니다.
장시간 진공 상태를 유지하는 것은 극저온 시스템에 있어 큰 문제입니다. 미세 누출과 물질 방출로 인해 기존의 정적 진공 시스템은 제대로 작동하지 못합니다.
우리의동적 진공 펌프 시스템다음과 같이 해결합니다:
진공청소기 잔량을 항상 확인하세요
정기적으로 진공 상태를 복원합니다.
성능 저하를 막습니다
이는 진공 절연이 장기간 동안 동일한 방식으로 작동하도록 보장하며, 이는 수년간 가동을 중단하지 않고도 신뢰성을 유지해야 하는 반도체 제조 시설에 중요합니다.
상 분리기진공 단열
진공 절연상 분리기이는 다음과 같은 이유로 매우 중요합니다:
액체 질소에서 증기를 추출하는 방법
가스가 민감한 장비에 닿는 것을 방지합니다.
하류의 압력과 온도를 일정하게 유지하기
이는 특히 반도체 장비에 중요한데, 아주 작은 기포조차도 공정에 문제를 일으킬 수 있기 때문입니다.
유연 호스진공 단열
진공 절연유연 호스당신에게 다음을 제공합니다:
장비 연결을 위한 기계적 유연성
진동 차단
단열 성능을 유지했습니다
적절하게 설계된 극저온 호스 시스템은 경질 배관에 가해지는 스트레스를 방지하고 고정밀 환경에서 더욱 안정적인 작동을 보장합니다.
●압력 설계 및 유동 안정성, 재료 선택 및 청결도
반도체 응용 분야에서는 압력을 안정적으로 유지하는 것이 온도를 안정적으로 유지하는 것만큼 중요합니다. 일반적인 시스템 매개변수는 다음과 같습니다.
작업 시 압력: 6~10 bar
설계 압력: 16~25 bar
유량 조건: 도구가 필요한 양에 따라 매우 다릅니다.
압력 변화는 다음과 같은 결과를 초래할 수 있습니다:
상 불안정성(액체에서 기체로의 변화)
프로세스의 불일치
장비가 작동하지 않습니다
이를 해결하기 위해 극저온 배관망의 크기를 신중하게 설계하고 추가합니다.진공 절연 상 분리기유체 흐름을 일정하게 유지하고 액상 공급을 원활하게 하기 위한 장치입니다.
적절한 재료를 선택하는 것은 성능 향상과 청결 유지 모두에 매우 중요합니다. 저희는 일반적으로 다음과 같은 재료를 사용합니다.
내부 파이프는 스테인리스강(예: SS304/316L)으로 제작되었습니다.
지지대용으로 열전도율이 낮은 재료를 사용합니다.
높은 반사율을 갖는 다층 절연재(MLI)
HL Cryogenics의 모든 시스템은 반도체 등급의 순도 기준을 충족하기 위해 엄격한 세척 과정을 거치므로 입자 오염 위험을 제거합니다.
●국제 표준 준수
전 세계적인 수용성과 구매 신뢰도를 확보하기 위해 당사는 다음과 같은 규정을 준수하는 시스템을 설계합니다.
- ASMEB31.3
- DIN EN 13480
- 극저온 장비에 대한 ISO 표준
이는 특히 다음과 같은 프로젝트에 중요합니다.
- 동아시아 반도체 시설
- 유럽의 산업용 가스 플랜트
- 동남아시아의 첨단 기술 제조 허브
대만의 한 전자제품 제조업체에서 진행했던 마지막 프로젝트에서, 우리는 액체 질소 시스템을 대규모로 설치했습니다.진공 절연 파이프, 진공 절연 유연 호스그리고동적 진공 펌프 시스템.
해결해야 할 주요 문제점은 다음과 같았습니다.
원거리 보급로(길이 500미터 이상)
안정적인 압력(±0.2 bar 변동 범위 내)에 대한 요구
중단 없는 작동
저희 시스템을 통해 제공되는 결과:
기존 파이프라인 대비 열 손실 95% 이상 감소
상변화 없는 액체 흐름
진공 상태를 유지하면서 18개월 동안 연속 운전
●자주 묻는 질문
HL 크라이오제닉스는 1992년부터 고객의 다양한 요구에 맞춰 고진공 단열 극저온 배관 시스템 및 관련 지원 장비의 설계 및 제조를 전문으로 해왔습니다. 당사는 ASME, CE 및 ISO 9001 인증을 보유하고 있으며, 수많은 유명 국제 기업에 제품과 서비스를 제공해 왔습니다. 당사의 모든 팀은 성실하고 책임감 있으며, 맡은 모든 프로젝트에서 최고의 결과를 위해 최선을 다합니다.
진공 단열/피복 파이프
진공 절연/피복형 유연 호스
상 분리기/증기 배출구
진공 절연(공압식) 차단 밸브
진공 절연 체크 밸브
진공 절연 조절 밸브
냉장 상자 및 컨테이너용 진공 절연 커넥터
MBE 액체 질소 냉각 시스템
VI 배관과 관련된 기타 극저온 지원 장비 - 안전 릴리프 밸브 그룹, 액체 레벨 게이지, 온도계, 압력 게이지, 진공 게이지 및 전기 제어 박스를 포함하되 이에 국한되지 않습니다.
저희는 단일 제품부터 대규모 프로젝트까지 규모에 관계없이 모든 주문을 기꺼이 처리해 드립니다.
HL Cryogenics의 진공 단열 파이프(VIP)는 당사의 표준인 ASME B31.3 압력 배관 규격에 따라 제조됩니다.
HL 크라이오제닉스는 진공 장비 전문 제조업체로서, 모든 원자재를 자격을 갖춘 공급업체로부터만 조달합니다. 고객의 요청에 따라 특정 표준 및 요구 사항을 충족하는 자재를 공급할 수 있습니다. 당사의 대표적인 자재로는 ASTM/ASME 300 스테인리스강이 있으며, 산세척, 기계적 연마, 광택 열처리, 전해 연마 등의 표면 처리가 적용됩니다.
내부 배관의 크기와 설계 압력은 고객 요구 사항에 따라 결정됩니다. 외부 배관의 크기는 고객이 별도로 지정하지 않는 한 HL Cryogenics의 표준 사양을 따릅니다.
기존 배관 단열 방식과 비교했을 때, 정적 진공 시스템은 탁월한 단열 성능을 제공하여 고객의 가스화 손실을 줄여줍니다. 또한 동적 진공 단열 시스템보다 비용 효율성이 뛰어나 프로젝트 초기 투자 비용을 절감할 수 있습니다.
게시 시간: 2026년 4월 13일
