분자 빔 에피 택시 (MBE)는 결정 기판에 고품질의 결정 박막을 성장시키는 새로운 기술입니다. 초고 진공 조건에서 가열 스토브는 모든 종류의 필수 구성 요소를 갖추고 있으며 빔 원자 또는 분자 빔을 시준 후 형성된 구멍을 통해 증기를 생성하고 단결정 기판의 적절한 온도에 직접 주입하여 분자 빔을 제어합니다. 동시에 기판 스캐닝, 그것은 결정 정렬 층의 분자 또는 원자를 만들어 기판 "성장"에 박막을 형성 할 수 있습니다.

MBE 장비의 정상적인 작동을 위해서는 장비의 냉각 실로 지속적이고 안정적으로 운반되는 고순도, 저압 및 초 청정 액체 질소가 필요합니다. 일반적으로 액체 질소를 공급하는 탱크는 0.3MPa에서 0.8MPa 사이의 출력 압력을 가지며 -196 ℃의 액체 질소는 파이프 라인 운송 중에 쉽게 질소로 기화됩니다. 가스-액체 비율이 약 1 : 700 인 액체 질소가 파이프 라인에서 가스화되면 많은 양의 액체 질소 흐름 공간을 차지하고 액체 질소 파이프 라인 끝에서 정상적인 흐름을 감소시킵니다. 또한 액체 질소 저장 탱크에는 청소되지 않은 이물질이있을 가능성이 있습니다. 액체 질소 파이프 라인에서 습한 공기가 존재하면 얼음 슬래그가 생성됩니다. 이러한 불순물이 장비로 배출되면 장비에 예상치 못한 손상이 발생할 수 있습니다.

따라서 실외 저장 탱크의 액체 질소는 고효율, 안정성 및 깨끗한 먼지가없는 작업장에서 MBE 장비로 운송되며 저압, 질소 없음, 불순물 없음, 24 시간 중단되지 않음, 이러한 운송 제어 시스템은 자격을 갖춘 제품.